现代光学工业之花，人类最复杂精密的设备。
ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务，TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生产效率最高，应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型，比如英特尔（Intel）、三星（Samsung）、海力士（Hynix）、台积电（TSMC）、中芯国际（SMIC）等。
你好我是美璟旅行师侄修光刻机号称
现代工业明珠是半导体行业中的核心
技术那光刻机是什么呢是制造芯片的
机器而芯片是现在所有智能设备的
心脏而光刻机的原理就是用光在晶圆
上刻电路图听起来和激光雕刻机挺像
的我自己家就有一小台还挺好玩的
喜欢的朋友不妨在家摆上一台偶尔
把玩一下现今世界上光刻机领域的
龙头老大是荷兰的asml阿斯麦尔
占据高达百分之八十的市场份额垄断
了高端光刻机市场我们眼前就是它的
总部里面所有的无尘车间的面积加
起来已超过五万平米其中euv无尘
车间最富盛名euv光刻机是
当今世界上最先进的光刻机一台
差不多有一点二亿美元价值相当于一
台波音七四七今天直修就带你去阿斯
麦尔的euv车间和中科院微电子所
看看
在euv光刻机中十多万个部件里有
百分之九十都是全球采购的其中美国
硅谷集团的微激光系统德国蔡司的
镜头和西蒙科技的euv光源
缺一不可而阿斯麦尔打通了光刻机
上游产业链这是他最大的资本当然光
有零部件还不够你要有能力设计组装
起来阿斯迈尔最核心的优势在设计和
组装校准上就算是他公开设计图纸
别人用同样的原件也达不到它的
精准度光刻机的组装校准需要在极其
苛刻的条件下才能进行工作精度是
纳米级别的我们现在在无尘车间的
操作舱室在这个舱室里控制着整个
车间的空气净化系统和温度为系统
测试和组装的每个步骤都做好了准备
无尘车间的湿度和温度都是被严格
控制的必须保持恒温二十一度因为
哪怕温度变化一点点机器里面的所有
金属部件都会跟着变化一点失误都
不能犯
这里是装配仓你知道吗装配好的
光刻机足足有一百吨重是没法单独
运输的所以在运输过程中会被拆分成
很多部分再通过六架飞机运输到达
目的地后再组装校正我们眼前的这些
集装箱是专门为了运输光刻机而设计
制造的里面设有温度和湿度的控制
装置也是为了保障光刻机不会因为
环境的变化而出现问题euv光刻机
价格又高运输还麻烦但是中国的芯片
制造商们要想量产七纳米及其以下的
工艺的芯片就必须引进它我们必须要
认清一个事实我国在光刻机领域和
世界顶尖技术还有一段距离但我们也
是一匹在追赶中的黑马中国总是
冷不丁震惊世界
这里是车间内的无尘室刚进到这里你
首先就会注意到这的灯光整个空间像
是加了一层黄色的滤镜之所以使用黄
光照明是因为光刻机里要用到感光胶
而感光胶对波长较短的光像蓝光或者
紫光很敏感会造成提早感光及误报的
情况所以要使用黄光这种波长相对较
长的光作为主要照明在无尘车间中
对于洁净度要求极为严苛你们仔细看
天花板有很多方形过滤装置在墙角也
有很多山阁这些是车间内的空气循环
和过滤装置车间内的空气要比外面
干净十万倍除此之外你看看周围的
工作人员们每一个都全副武装着进来
车间前还要全方位消毒因为人是无尘
车间最大的污染源我们每天脱落大约
十亿个皮肤威力而这些威力啊要是掉
进了机器里极有可能引发大问题
这里是新芜城市随着前开式晶圆传送
盒的使用对于黄光不再有硬需求因此
最新的无尘式都使用白光阿斯迈尔
对于科技的革新十分重视这可能还要
从他的发家史开始讲起光刻机曾是
尼康的天下阿斯麦尔只是个
名不见经传的小厂别人吃肉他喝汤他
也饿不着一直不温不火直到一次契机
出现光刻机光源的细度出现瓶颈当时
整个半导体行业砸了数十亿美金无数
的人力物力集中在两个方案上一是
保守的升级光源二是激进的替换光源
但这两个方案在当时看来要么成本太
高要么难度太大而台积电副总经理林
本坚站了出来提出一个天马行空的
想法用水折射光把光变细不就好了吗
但是很多厂家不乐意了凭什么我
辛辛苦苦爬山坐下电梯就上来了原先
投入海量人力物力的厂家纷纷拒绝
毕竟已经投入了那么多改走另一条路
等于前功尽废最后只有阿斯麦尔同意
了这才有了咱们看到的阿斯麦尔
异军突起成为行业老大
今天咱们见识过了哈斯麦尔的强大
之处现在再来看看咱们自家的光刻机
我们现在正在中科院微电子所的光刻
区看看四周这是我们的无尘车间里面
的条件设备都不比国外的差我们和
世界的差距也并非鸿沟在二零一八
年时中科院成功研制出了世界首台
分辨力最高紫外超分辨光刻器光刻
分辨率达二十二纳米虽说是比不上e
uv但这次不是引进不是模仿而是
自主研发我们绕过国外相关知识产权
壁垒建立了一条高分辨大面积的纳米
光刻装备研发新路线
想想看这几年来我国芯片技术和世界
顶尖水平逐年拉近从智能硬件
默默无闻到占据全球三分之一的
市场份额只用了十几年我相信不久的
将来我们的光刻机也会弯道超车对于
中国我充满自信对于民族产业我满怀
期待今天的光刻机之旅就正式结束了
我的讲解可能比较快没尽兴的话不妨
和我回到开头再来一次这次可以切
换成深度体验模式自行游览一回有
头衔的朋友们别忘了带上头衔有
身临其境般的感受喜欢我的讲解的话
一定要分享给你的朋友也欢迎各位
看管老爷们随缘打赏最后感谢摄影c
三六零策划tt玩麻瓜我是美璟旅行
师侄邱那我们下个地方再见吧